痕量級多組分氣體分析儀由微量溴甲烷、硫酰氟紅外光聲光譜氣體分析儀、微量溴甲烷、硫酰氟激光光聲光譜氣體分析儀、微量CO2激光光聲光譜氣體分析儀、常量溴甲烷、硫酰氟、非色散紅外CO2分析儀、溴甲烷/硫酰氟/磷化氫報警器、聲光報警器、數據處理分析計算機平臺、分析與檢定軟件、控制機柜等構成。